Mikro-Nano-Systemtechnik
PDF Lehrveranstaltungsverzeichnis English Version: MNST
Version: 1 | Letzte Änderung: 03.11.2019 19:17 | Entwurf: 0 | Status: vom verantwortlichen Dozent freigegeben
Langname | Mikro-Nano-Systemtechnik |
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Anerkennende LModule | MNST_MaET |
Verantwortlich |
Prof. Dr. Karl Kohlhof
Professor Fakultät IME |
Gültig ab | Wintersemester 2020/21 |
Niveau | Master |
Semester im Jahr | Wintersemester |
Dauer | Semester |
Stunden im Selbststudium | 78 |
ECTS | 5 |
Dozenten |
Prof. Dr. Karl Kohlhof
Professor Fakultät IME |
Voraussetzungen | Grundkenntnisse in Materialkunde wünschenswert |
Unterrichtssprache | deutsch |
separate Abschlussprüfung | Ja |
W. Menz, P. Bley: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH Verlagsgesellschaft |
S. Büttgenbach: "Mikromechanik", Teubner Verlag |
Details | Mündlicher Seminarvortrag |
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Mindeststandard | Note 4.0 |
Prüfungstyp | mündlicher Ergebnisbericht (Vortrag / Präsentation) |
Zieltyp | Beschreibung |
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Kenntnisse | Einleitung Mikrosystemtechnik am Markt Fertigungsprinzipien, -strategien |
Kenntnisse | Sensoren und Aktoren Signalumwandlung Werkstoffe |
Kenntnisse | Fertigungstechnologien Reinraum Lithographie, Mikrostrukturierung Wärmebehandlung Dünnschichttechnologie Aufbau- und Verbindungstechnik Massenfertigung |
Kenntnisse | Design und Simulation MEMSpro - Spice basierte Schaltungssimulation ANSYS - Finite Element Simulation physikalischer Prozesse |
Kenntnisse | Anwendungsbeispiele Mikropumpe, Mikroventil, Tintenstrahldruckkopf Mikromotor Beschleunigungssensoren, Drehratensensor Mikroklimasensor Mikrospiegel- Display / Digital Light Processor MIkrosensoren in Mobiltelefonen |
Fertigkeiten | Auswahl bekannter Mikro-/Nanofertigungskonzepte |
Fertigkeiten | strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien |
Fertigkeiten | strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Mikro-/Nanosystems |
Fertigkeiten | (Seminar-)Vortrag: recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen |
Fertigkeiten | Simulation eines Mikro-/Nanosystems |
Typ | Präsenzzeit (h/Wo.) |
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Vorlesung | 2 |
Übungen (ganzer Kurs) | 0 |
Übungen (geteilter Kurs) | 0 |
Tutorium (freiwillig) | 0 |
Physik, Werkstoffkunde |
Begleitmaterial |
elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung pdf-Skript , elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen MEMSpro |
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Separate Prüfung | Ja |
Prüfungstyp | Fachgespräch (Interview) zu besonderen Fragestellungen (Szenario, Projektaufgabe, Lieraturrecherche) |
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Details | Literaturrechercheergebnis präsentieren |
Mindeststandard | Bestehen |
Zieltyp | Beschreibung |
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Kenntnisse | Vortragsstruktur |
Fertigkeiten | wissenschaftliche Rechercheinstrumente |
Fertigkeiten | wissenschaftliches Zitieren |
Fertigkeiten | Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen |
Fertigkeiten | wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren |
Typ | Präsenzzeit (h/Wo.) |
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Seminar | 2 |
Tutorium (freiwillig) | 0 |
Physik, Materialkunde erwünscht |
Begleitmaterial | undefined |
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Separate Prüfung | Ja |
Prüfungstyp | Projektaufgabe im Team bearbeiten (z.B. im Praktikum) |
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Details | Vortrag strukturieren |
Mindeststandard | Note 4.0 |
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