Lehrver­anstaltungs­handbuch MNST

Mikro-Nano-Systemtechnik


PDF Lehrveranstaltungsverzeichnis English Version: MNST

Version: 1 | Letzte Änderung: 03.11.2019 19:17 | Entwurf: 0 | Status: vom verantwortlichen Dozent freigegeben

Langname Mikro-Nano-Systemtechnik
Anerkennende LModule MNST_MaET
Verantwortlich
Prof. Dr. Karl Kohlhof
Professor Fakultät IME
Gültig ab Wintersemester 2020/21
Niveau Master
Semester im Jahr Wintersemester
Dauer Semester
Stunden im Selbststudium 78
ECTS 5
Dozenten
Prof. Dr. Karl Kohlhof
Professor Fakultät IME
Voraussetzungen Grundkenntnisse in Materialkunde wünschenswert
Unterrichtssprache deutsch
separate Abschlussprüfung Ja
Literatur
W. Menz, P. Bley: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH Verlagsgesellschaft
S. Büttgenbach: "Mikromechanik", Teubner Verlag
Abschlussprüfung
Details Mündlicher Seminarvortrag
Mindeststandard Note 4.0
Prüfungstyp mündlicher Ergebnisbericht (Vortrag / Präsentation)

Lernziele
Zieltyp Beschreibung
Kenntnisse Einleitung
Mikrosystemtechnik am Markt
Fertigungsprinzipien, -strategien
Kenntnisse Sensoren und Aktoren
Signalumwandlung
Werkstoffe
Kenntnisse Fertigungstechnologien
Reinraum
Lithographie, Mikrostrukturierung
Wärmebehandlung
Dünnschichttechnologie
Aufbau- und Verbindungstechnik
Massenfertigung
Kenntnisse Design und Simulation
MEMSpro - Spice basierte Schaltungssimulation
ANSYS - Finite Element Simulation physikalischer Prozesse
Kenntnisse Anwendungsbeispiele
Mikropumpe, Mikroventil, Tintenstrahldruckkopf
Mikromotor
Beschleunigungssensoren, Drehratensensor
Mikroklimasensor
Mikrospiegel- Display / Digital Light Processor
MIkrosensoren in Mobiltelefonen
Fertigkeiten Auswahl bekannter Mikro-/Nanofertigungskonzepte
Fertigkeiten strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
Fertigkeiten strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Mikro-/Nanosystems
Fertigkeiten (Seminar-)Vortrag: recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
Fertigkeiten Simulation eines Mikro-/Nanosystems
Aufwand Präsenzlehre
Typ Präsenzzeit (h/Wo.)
Vorlesung 2
Übungen (ganzer Kurs) 0
Übungen (geteilter Kurs) 0
Tutorium (freiwillig) 0
Besondere Voraussetzungen
Physik, Werkstoffkunde
Begleitmaterial elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
pdf-Skript
, elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
MEMSpro
Separate Prüfung Ja
Separate Prüfung
Prüfungstyp Fachgespräch (Interview) zu besonderen Fragestellungen (Szenario, Projektaufgabe, Lieraturrecherche)
Details Literaturrechercheergebnis präsentieren
Mindeststandard Bestehen

Lernziele
Zieltyp Beschreibung
Kenntnisse Vortragsstruktur
Fertigkeiten wissenschaftliche Rechercheinstrumente
Fertigkeiten wissenschaftliches Zitieren
Fertigkeiten Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen
Fertigkeiten wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren
Aufwand Präsenzlehre
Typ Präsenzzeit (h/Wo.)
Seminar 2
Tutorium (freiwillig) 0
Besondere Voraussetzungen
Physik, Materialkunde erwünscht
Begleitmaterial undefined
Separate Prüfung Ja
Separate Prüfung
Prüfungstyp Projektaufgabe im Team bearbeiten (z.B. im Praktikum)
Details Vortrag strukturieren
Mindeststandard Note 4.0

Bei Fehlern, bitte Mitteilung an die
Webredaktion der Fakultät IME

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