Lehrveranstaltungshandbuch MikroNanoSystemtechnik


Verantwortlich: Prof.Dr.Kohlhof

Lehrveranstaltung

Befriedigt Modul (MID)

Organisation

Version
erstellt 2012-02-03
VID 1
gültig ab WS 2012/13
gültig bis
Bezeichnung
Lang MikroNanoSystemtechnik
LVID F07_MNST
LVPID (Prüfungsnummer)

Semesterplan (SWS)
Vorlesung 2
Übung (ganzer Kurs) 1
Übung (geteilter Kurs)
Praktikum
Projekt
Seminar 2
Tutorium (freiwillig)
Präsenzzeiten
Vorlesung 30
Übung (ganzer Kurs) 15
Übung (geteilter Kurs)
Praktikum
Projekt
Seminar 30
Tutorium (freiwillig)
max. Teilnehmerzahl
Übung (ganzer Kurs)
Übung (geteilter Kurs)
Praktikum
Projekt
Seminar 40

Gesamtaufwand: 150

Unterrichtssprache

  • Deutsch

Niveau

  • Master

Notwendige Voraussetzungen

  • keine

Literatur

  • W. Menz, P. Bley: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH Verlagsgesellschaft
  • S. Büttgenbach: "Mikromechanik", Teubner Verlag

Dozenten

  • Prof.Dr.Kohlhof

Wissenschaftliche Mitarbeiter

  • tba

Zeugnistext

Mikro- und Nanosystemtechnik

Kompetenznachweis

Form
sMB Seminarvortrag

Aufwand [h]
sMB Seminarvortrag

Intervall: 1/Jahr


Lehrveranstaltungselemente

Vorlesung / Übung

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)
  • Einleitung
    • Mikrosystemtechnik am Markt
    • Fertigungsprinzipien, -strategien
  • Sensoren und Aktoren
    • Signalumwandlung
    • Werkstoffe
  • Fertigungstechnologien
    • Reinraum
    • Lithographie, Mikrostrukturierung
    • Wärmebehandlung
    • Dünnschichttechnologie
    • Aufbau- und Verbindungstechnik
    • Massenfertigung
  • Design und Simulation
    • MEMSpro - Spice basierte Schaltungssimulation
    • ANSYS - Finite Element Simulation physikalischer Prozesse
  • Anwendungsbeispiele
    • Mikropumpe, Mikroventil, Tintenstrahldruckkopf
    • Mikromotor
    • Beschleunigungssensoren: Airbag-, Drehratensensor
    • Mikroklimasensor
    • Mikrospiegel- Display: Digital Light Processor

Fertigkeiten
  • Auswahl bekannter Mikro-/Nanofertigungskonzepte
  • strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
  • strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Mikro-/Nanosystems

Handlungskompetenz demonstrieren
  • (Seminar-)Vortrag recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
  • Simulation eines Mikro-/Nanosystems

Begleitmaterial

  • elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
    • pdf-Skript
  • elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
    • MEMSpro
  • elektronische Tutorials für Selbststudium
    • Videos
      • (in Vorb)

Besondere Voraussetzungen

  • Physik
  • Werkstoffkunde

Besondere Literatur

  • keine

Besonderer Kompetenznachweis

Seminar

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)
  • Vortragsstruktur

Fertigkeiten
  • wissenschaftliche Rechercheinstrumente
  • wissenschaftliches Zitieren

Handlungskompetenz demonstrieren
  • Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen
  • wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren

Begleitmaterial

Besondere Voraussetzungen

  • keine

Besondere Literatur

  • keine

Besonderer Kompetenznachweis

Form
bLR Literaturrecherche durchführen
bPA Vortrag strukturieren
sMB Vortragspräsentation, benotet

Beitrag zum LV-Ergebnis
bLR recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet
bPA Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
sMB Vortragspräsentation, benotet

Intervall: 1/Jahr

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