Lehrveranstaltungshandbuch MikroNanoSensorik


Verantwortlich: Prof.Dr.Kohlhof

Lehrveranstaltung

Befriedigt Modul (MID)

Organisation

Version
erstellt 2012-01-19
VID 1
gültig ab WS 2012/13
gültig bis
Bezeichnung
Lang MikroNanoSensorik
LVID F07_MNS
LVPID (Prüfungsnummer)

Semesterplan (SWS)
Vorlesung 3
Übung (ganzer Kurs)
Übung (geteilter Kurs)
Praktikum
Projekt
Seminar 1
Tutorium (freiwillig)
Präsenzzeiten
Vorlesung 45
Übung (ganzer Kurs)
Übung (geteilter Kurs)
Praktikum
Projekt
Seminar 15
Tutorium (freiwillig)
max. Teilnehmerzahl
Übung (ganzer Kurs)
Übung (geteilter Kurs)
Praktikum
Projekt
Seminar 40

Gesamtaufwand: 150

Unterrichtssprache

  • Deutsch
  • Englisch

Niveau

  • Bachelor

Notwendige Voraussetzungen

  • keine

Literatur

  • "Vakuumtechnik 1-5", VDI-Verlag
  • Tippler: "Physik", Spektrum Akademischer Verlag

Dozenten

  • Prof.Dr.Kohlhof

Wissenschaftliche Mitarbeiter

  • tba

Zeugnistext

Mikro- und Nanosensorik

Kompetenznachweis

Form
sMP Regelfall (bei großer Prüfungszahl: sK)

Aufwand [h]
sMP 10

Intervall: 1/Jahr


Lehrveranstaltungselemente

Vorlesung / Übung

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)
  • Sensorik
    • Werkstoffeigenschaften
    • Wandlung nicht elektrisch- elektrisch
    • Anwendungen
      • Länge, Winkel
      • Geschwindigkeit, Beschleunigung
      • Massendurchfluss
      • Temperatur
      • Kraft, Druck
  • Dünnschichttechnologie
    • Vakuumtechnik
    • Plasmatechnik
    • Schicht- und Oberflächentechnik
      • Schichteintrag
        • Wärmebehandlung
        • Ionenimplantation
      • Schichtauftrag
        • PVD
        • CVD
      • Schichtabtrag
        • Plasmaätzen
        • Ionenätzen
  • Mikrotechnologie
    • Simulationstools (Finite Elemente, Chipdesign, Netzwerksimulation)
    • Fertigungsstrategien (in/ex house)
    • Foundrieprozesse (MUMPs, SUMMIT V, Bosch)
  • Nanotechnologie
    • Fertigungstrategien (bottom up / top down)

Fertigkeiten
  • Materialklasse abhängig von gewünschter Sensoreigenschaft auswählen
  • Dünnschichttechnologie situationsgerecht auswählen und anwenden
  • strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
  • strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Sensorsystems

Handlungskompetenz demonstrieren
  • (Seminar-)Vortrag recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
  • Simulation eines Sensorsystems

Begleitmaterial

  • elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
    • pdf-Skript
  • elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
    • MEMSpro
  • elektronische Tutorials für Selbststudium
    • Videos
      • (in Vorb)

Besondere Voraussetzungen

  • Physik
  • Werkstoffkunde

Besondere Literatur

  • keine

Besonderer Kompetenznachweis

Form
bLR Literaturrecherche durchführen
bPA Vortrag strukturieren
sMB Vortragspräsentation

Beitrag zum LV-Ergebnis
bLR Literaturrecherche durchführen
bPA Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
sMB Vortragspräsentation, benotet

Intervall: 1/Jahr

Seminar

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)
  • Vortragsstruktur

Fertigkeiten
    • wissenschaftliche Rechercheinstrumente
    • wissenschaftliches Zitieren

Handlungskompetenz demonstrieren
  • Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen
  • wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren

Begleitmaterial

Besondere Voraussetzungen

  • keine

Besondere Literatur

  • keine

Besonderer Kompetenznachweis

Form
bLR Literaturrecherche durchführen
bPA Vortrag strukturieren
sMB Vortragspräsentation, benotet

Beitrag zum LV-Ergebnis
bLR recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet
bPA Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
sMB Vortragspräsentation, benotet

Intervall: 1/Jahr

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