F07_MNST < F07_Studium

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---
*Verantwortlich:* Prof.Dr.Kohlhof

---++ Lehrveranstaltung
---+++ Befriedigt Modul (MID)
   * aktuelle
      * [[MaET2012_MNST]]

---+++ Organisation
<sticky>
  <table border="0">
    <tr valign="top">
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Version</th>
          <tr>
            <td>erstellt</td>
            <td>2012-02-03</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>VID</td>
            <td>1</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>gültig ab</td>
            <td>WS 2012/13</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>gültig bis</td>
            <td/>
          </tr>
        </table>
      </td>
      <td>         </td>
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Bezeichnung</th>
          <tr>
            <td>Lang</td>
            <td>%FORMFIELD{"Bezeichnung"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>LVID</td>
            <td>F07_MNST</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>LVPID (Prüfungsnummer)</td>
            <td/>
          </tr>
        </table>
      </td>
    </tr>
  </table>
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  <table border="0">
    <tr valign="top">
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Semesterplan (SWS)</th>
          <tr>
            <td>Vorlesung</td>
            <td>%FORMFIELD{"VorlesungSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (ganzer Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungGanzSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (geteilter Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungHalbSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Praktikum</td>
            <td>%FORMFIELD{"PraktikumSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Projekt</td>
            <td>%FORMFIELD{"ProjektSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Seminar</td>
            <td>%FORMFIELD{"SeminarSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Tutorium (freiwillig)</td>
            <td>%FORMFIELD{"TutoriumSWS"}%</td>
          </tr>
        </table>
      </td>
      <td>    </td>
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Präsenzzeiten</th>
          <tr>
            <td>Vorlesung</td>
            <td>%FORMFIELD{"VorlesungPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (ganzer Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungGanzPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (geteilter Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungHalbPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Praktikum</td>
            <td>%FORMFIELD{"PraktikumPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Projekt</td>
            <td>%FORMFIELD{"ProjektPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Seminar</td>
            <td>%FORMFIELD{"SeminarPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Tutorium (freiwillig)</td>
            <td>%FORMFIELD{"TutoriumPZ"}%</td>
          </tr>
        </table>
      </td>
      <td>    </td>
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">max. Teilnehmerzahl</th>
          <tr>
            <td>Übung (ganzer Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungGanzTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (geteilter Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungHalbTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Praktikum</td>
            <td>%FORMFIELD{"PraktikumTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Projekt</td>
            <td>%FORMFIELD{"ProjektTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Seminar</td>
            <td>%FORMFIELD{"SeminarTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
        </table>
      </td>
    </tr>
  </table>
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*Gesamtaufwand:* %FORMFIELD{"Gesamtaufwand"}%

---++++ Unterrichtssprache
   * Deutsch

---++++ Niveau
   * %FORMFIELD{"Niveau"}%
---++++ Notwendige Voraussetzungen
   * keine

---++++ Literatur
   * W. Menz, P. Bley: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH Verlagsgesellschaft 
   * S. Büttgenbach: "Mikromechanik", Teubner Verlag

---++++ Dozenten
   * Prof.Dr.Kohlhof



---++++ Wissenschaftliche Mitarbeiter
   * tba

---++++ Zeugnistext
Mikro- und Nanosystemtechnik

---+++ Kompetenznachweis
<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Form</th>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Seminarvortrag</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Aufwand [h]</th>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Seminarvortrag</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

*Intervall:* 1/Jahr

-----
---++ Lehrveranstaltungselemente

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---+++ <u>Vorlesung / Übung</u>

---++++ Lernziele 
---+++++ Lerninhalte (Kenntnisse)
   * Einleitung   
      * Mikrosystemtechnik am Markt
      * Fertigungsprinzipien, -strategien
   * Sensoren und Aktoren
      * Signalumwandlung
      * Werkstoffe
   * Fertigungstechnologien
      * Reinraum
      * Lithographie, Mikrostrukturierung
      * Wärmebehandlung
      * Dünnschichttechnologie
      * Aufbau- und Verbindungstechnik
      * Massenfertigung
   * Design und Simulation
      * MEMSpro - Spice basierte Schaltungssimulation
      * ANSYS - Finite Element Simulation physikalischer Prozesse
   * Anwendungsbeispiele
      * Mikropumpe, Mikroventil, Tintenstrahldruckkopf
      * Mikromotor
      * Beschleunigungssensoren: Airbag-, Drehratensensor
      * Mikroklimasensor
      * Mikrospiegel- Display: Digital Light Processor

---+++++ Fertigkeiten
   * Auswahl bekannter Mikro-/Nanofertigungskonzepte
   * strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
   * strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Mikro-/Nanosystems 

---+++++ Handlungskompetenz demonstrieren
   * (Seminar-)Vortrag recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
   * Simulation eines Mikro-/Nanosystems


---++++ Begleitmaterial 
   * elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
      * pdf-Skript
   * elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
      * MEMSpro
   * elektronische Tutorials für Selbststudium
      * Videos
         * (in Vorb)


---++++ Besondere Voraussetzungen 
   * Physik
   * Werkstoffkunde


---++++ Besondere Literatur 
   * keine


---++++ Besonderer Kompetenznachweis 

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%STARTSECTION{"Seminar"}%
---+++ <u>Seminar</u>

---++++ Lernziele 
---+++++ Lerninhalte (Kenntnisse)
   * Vortragsstruktur

---+++++ Fertigkeiten
   * wissenschaftliche Rechercheinstrumente
   * wissenschaftliches Zitieren

---+++++ Handlungskompetenz demonstrieren
   * Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen 
   * wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren


---++++ Begleitmaterial 


---++++ Besondere Voraussetzungen 
   * keine


---++++ Besondere Literatur 
   * keine


---++++ Besonderer Kompetenznachweis 
<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Form</th>
    <tr>
      <td>bLR</td>
      <td>Literaturrecherche durchführen</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>bPA</td>
      <td>Vortrag strukturieren</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Vortragspräsentation, benotet</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Beitrag zum LV-Ergebnis</th>
    <tr>
      <td>bLR</td>
      <td>recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>bPA</td>
      <td>Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Vortragspräsentation, benotet</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

*Intervall:* 1/Jahr

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Topic-Revision: r6 - 06 Dec 2017, GeneratedContent
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