Lehrveranstaltungshandbuch MikroNanoSensorik

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Verantwortlich: Prof.Dr.Kohlhof

Lehrveranstaltung

Befriedigt Modul (MID)

• aktuelle
  • Ba ET2012 MNS
  • Ba ET2010 MNS

Organisation

Version erstellt 2012-01-19 VID 1 gültig ab WS 2012/13 gültig bis

Bezeichnung Lang MikroNanoSensorik LVID F07_MNS LVPID (Prüfungsnummer)

Semesterplan (SWS) Vorlesung 3 Übung (ganzer Kurs) Übung (geteilter Kurs) Praktikum Projekt Seminar 1 Tutorium (freiwillig)

Präsenzzeiten Vorlesung 45 Übung (ganzer Kurs) Übung (geteilter Kurs) Praktikum Projekt Seminar 15 Tutorium (freiwillig)

max. Teilnehmerzahl Übung (ganzer Kurs) Übung (geteilter Kurs) Praktikum Projekt Seminar 40

Gesamtaufwand: 150

Unterrichtssprache

• Deutsch
• Englisch

Niveau

• Bachelor

Notwendige Voraussetzungen

• keine

Literatur

• "Vakuumtechnik 1-5", VDI-Verlag
• Tippler: "Physik", Spektrum Akademischer Verlag

Dozenten

• Prof.Dr.Kohlhof

Wissenschaftliche Mitarbeiter

• tba

Zeugnistext

Mikro- und Nanosensorik

Kompetenznachweis

Form
sMP	Regelfall (bei großer Prüfungszahl: sK)

Aufwand [h]
sMP	10

Intervall: 1/Jahr

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Lehrveranstaltungselemente

Vorlesung / Übung

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)

• Sensorik
  • Werkstoffeigenschaften
  • Wandlung nicht elektrisch- elektrisch
  • Anwendungen
    • Länge, Winkel
    • Geschwindigkeit, Beschleunigung
    • Massendurchfluss
    • Temperatur
    • Kraft, Druck
• Dünnschichttechnologie
  • Vakuumtechnik
  • Plasmatechnik
  • Schicht- und Oberflächentechnik
    • Schichteintrag
      • Wärmebehandlung
      • Ionenimplantation
    • Schichtauftrag
      • PVD
      • CVD
    • Schichtabtrag
      • Plasmaätzen
      • Ionenätzen
• Mikrotechnologie
  • Simulationstools (Finite Elemente, Chipdesign, Netzwerksimulation)
  • Fertigungsstrategien (in/ex house)
  • Foundrieprozesse (MUMPs, SUMMIT V, Bosch)
• Nanotechnologie
  • Fertigungstrategien (bottom up / top down)

Fertigkeiten

• Materialklasse abhängig von gewünschter Sensoreigenschaft auswählen
• Dünnschichttechnologie situationsgerecht auswählen und anwenden
• strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
• strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Sensorsystems

Handlungskompetenz demonstrieren

• (Seminar-)Vortrag recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
• Simulation eines Sensorsystems

Begleitmaterial

• elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
  • pdf-Skript
• elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
  • MEMSpro
• elektronische Tutorials für Selbststudium
  • Videos
    • (in Vorb)

Besondere Voraussetzungen

• Physik
• Werkstoffkunde

Besondere Literatur

• keine

Besonderer Kompetenznachweis

Form
bLR	Literaturrecherche durchführen
bPA	Vortrag strukturieren
sMB	Vortragspräsentation

Beitrag zum LV-Ergebnis
bLR	Literaturrecherche durchführen
bPA	Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
sMB	Vortragspräsentation, benotet

Intervall: 1/Jahr

Seminar

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)

• Vortragsstruktur

Fertigkeiten

• • wissenschaftliche Rechercheinstrumente
• • wissenschaftliches Zitieren

Handlungskompetenz demonstrieren

• Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen
• wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren

Begleitmaterial

Besondere Voraussetzungen

• keine

Besondere Literatur

• keine

Besonderer Kompetenznachweis

Form
bLR	Literaturrecherche durchführen
bPA	Vortrag strukturieren
sMB	Vortragspräsentation, benotet

Beitrag zum LV-Ergebnis
bLR	recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet
bPA	Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
sMB	Vortragspräsentation, benotet

Intervall: 1/Jahr