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<!-- * Set USERSTYLEURL = %PUBURLPATH%/%WEB%/DokumentFormat/fonts.css --> ---+!! %FORMFIELD{"TopicClassification"}% %FORMFIELD{"Bezeichnung"}% %TOC{depth="3"}% %STARTSECTION{"no_toc"}% --- *Verantwortlich:* Prof. Dr. Stefan Altmeyer ---++ Lehrveranstaltung ---+++ Befriedigt Modul (MID) * aktuelle * [[MaET2012_RM]] * [[MaET2007_RM]] ---+++ Organisation <sticky> <table border="0"> <tr valign="top"> <td> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Version</th> <tr> <td>erstellt</td> <td>2013-04-29</td> </tr> <tr> <td>VID</td> <td>2</td> </tr> <tr> <td>gültig ab</td> <td>WS 2012/13</td> </tr> <tr> <td>gültig bis</td> <td/> </tr> </table> </td> <td> </td> <td> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Bezeichnung</th> <tr> <td>Lang</td> <td>%FORMFIELD{"Bezeichnung"}%</td> </tr> <tr> <td>LVID</td> <td>F07_RM</td> </tr> <tr> <td>LVPID (Prüfungsnummer)</td> <td/> </tr> </table> </td> </tr> </table> </sticky><sticky> <table border="0"> <tr valign="top"> <td> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Semesterplan (SWS)</th> <tr> <td>Vorlesung</td> <td>%FORMFIELD{"VorlesungSWS"}%</td> </tr> <tr> <td>Übung (ganzer Kurs)</td> <td>%FORMFIELD{"UebungGanzSWS"}%</td> </tr> <tr> <td>Übung (geteilter Kurs)</td> <td>%FORMFIELD{"UebungHalbSWS"}%</td> </tr> <tr> <td>Praktikum</td> <td>%FORMFIELD{"PraktikumSWS"}%</td> </tr> <tr> <td>Projekt</td> <td>%FORMFIELD{"ProjektSWS"}%</td> </tr> <tr> <td>Seminar</td> <td>%FORMFIELD{"SeminarSWS"}%</td> </tr> <tr> <td>Tutorium (freiwillig)</td> <td>%FORMFIELD{"TutoriumSWS"}%</td> </tr> </table> </td> <td> </td> <td> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Präsenzzeiten</th> <tr> <td>Vorlesung</td> <td>%FORMFIELD{"VorlesungPZ"}%</td> </tr> <tr> <td>Übung (ganzer Kurs)</td> <td>%FORMFIELD{"UebungGanzPZ"}%</td> </tr> <tr> <td>Übung (geteilter Kurs)</td> <td>%FORMFIELD{"UebungHalbPZ"}%</td> </tr> <tr> <td>Praktikum</td> <td>%FORMFIELD{"PraktikumPZ"}%</td> </tr> <tr> <td>Projekt</td> <td>%FORMFIELD{"ProjektPZ"}%</td> </tr> <tr> <td>Seminar</td> <td>%FORMFIELD{"SeminarPZ"}%</td> </tr> <tr> <td>Tutorium (freiwillig)</td> <td>%FORMFIELD{"TutoriumPZ"}%</td> </tr> </table> </td> <td> </td> <td> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">max. Teilnehmerzahl</th> <tr> <td>Übung (ganzer Kurs)</td> <td>%FORMFIELD{"UebungGanzTeilnehmer"}%</td> </tr> <tr> <td>Übung (geteilter Kurs)</td> <td>%FORMFIELD{"UebungHalbTeilnehmer"}%</td> </tr> <tr> <td>Praktikum</td> <td>%FORMFIELD{"PraktikumTeilnehmer"}%</td> </tr> <tr> <td>Projekt</td> <td>%FORMFIELD{"ProjektTeilnehmer"}%</td> </tr> <tr> <td>Seminar</td> <td>%FORMFIELD{"SeminarTeilnehmer"}%</td> </tr> </table> </td> </tr> </table> </sticky> *Gesamtaufwand:* %FORMFIELD{"Gesamtaufwand"}% ---++++ Unterrichtssprache * Deutsch ---++++ Niveau * %FORMFIELD{"Niveau"}% ---++++ Notwendige Voraussetzungen * Ingenieur-Mathematik auf Bachelor Niveau * Grundkenntnisse zu elektromagnetischen Feldern * Grundkenntnisse der geometrischen- und der Wellenoptik ---++++ Literatur * Reimer: Scanning Electron Microscopy (Springer) * Meyer, Hug, Bennewitz: Scanning Probe Microscopy (Springer) * Wilhelm, Gröbler, Gluch, Heinz: Die konfokale Laser Scanning Mikroskopie (Carl Zeiss) ---++++ Dozenten * Prof. Dr. Stefan Altmeyer ---++++ Wissenschaftliche Mitarbeiter * Dipl.-Ing. Wolfgang Stein ---++++ Zeugnistext Rastermikroskopie ---+++ Kompetenznachweis <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Form</th> <tr> <td>sMP</td> <td>100% (mündliche Prüfung)</td> </tr> </table> </sticky> <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Aufwand [h]</th> <tr> <td>sMP</td> <td>10</td> </tr> </table> </sticky> *Intervall:* 2-3/Jahr ----- ---++ Lehrveranstaltungselemente %STARTSECTION{"Vorlesung / Übung"}% ---+++ <u>Vorlesung / Übung</u> ---++++ Lernziele ---+++++ Lerninhalte (Kenntnisse) * Elektronenmikroskopie * Welle-Teilchen-Dualismus von Elektronen und de Broglie Wellenlänge * relativistischer Massenzuwachs * Auflösungsvermögen Elektronen-optischer Systeme * Tiefenschärfe im Elektronenmikroskop * Elektronenemission * Physik der Elektronenemission * thermoionische Emission * Schottky-Emission * Feldemission * technischer Aufbau von Elektronenemittern * Brightness als Erhaltungsgröße im Elektronenstrahl * magnetische Ablenkeinheiten * Fokussierlinsen * Bewegungsgleichung von Elektronen in Fokussierlinsen * Ansätze zur Minimierung von Abbildungsfehlern in elektronenoptischen Systemen * Scansysteme * Elektron-Materie-Wechselwirkung * Primärelektronen * Sekundärelektronen * Auger-Elektronen * Röntgen-Kontinuum * Charakteristische Röntgenstrahlung * Kathodoluminiszenz * Everhart-Thornley Detektor * Elektronen-Kontraste * Topographie-Kontrast * Material-Kontrast * Gitterorientierungs-Kontrast * Leitfähigkeitskontrast * Tunnelmikroskopie * Wellenfunktion * Definition * Stetigkeit und stetige Differenzierbarkeit * Wahrscheinlichkeitsinterpretation * Prinzuipo * Potentialdiagramm * Ferminiveau * Austrittsarbeit * quantenmechanische Berechnung der Tunnelwahrscheinlichkeit * vorgespannte Tunnelbarriere und WKB Näherung * Piezoantriebe * physikalische Grundlagen * Nichtlinearität, Hysterese, creep * Grundzüge der Regelungstechnik im Tunnelmikroskop * Präparation von Tunnelspitzen * Bild als Messsignal * Faltung von Objekt und Spitze * Gitterauflösung und atomare Auflösung * konfokale Mikroskopie * Prinzip der konfokalen Blenden * Prinzip des optischen Schneidens * laterale Auflösung und axiale Auflösung * Pupillenausleuchtung und Überstrahlung beim konfokalen LSM * Justageproblematik * Nipkow-Scheibe * Justagefreiheit * Probleme der Lichtausbeute und Reflexionen * rotierendes Mikrolinsenarray * konfokale Farblängsfehler-Sensoren ---+++++ Fertigkeiten * Elektronenmikroskopie * klassische und relativistische Elektronengeschwindigkeit berechnen * Wellenlänge von Elektronen berechnen * Auflösungsvermögen eines elektronenoptischen Systems berechnen * die unterscheidlichen Regime der Elektronenemission erläutern * die verschiedenen Elektron-Materie Wechselwirkungen erklären * den Aufbau eines Everhart-Thornley Detektors skizzieren und erklären * Tiefenschärfe einer Aufnahme berechnen * Tunnelmikroskopie * das Potential-Ort Diagramm für einenTunnelprozess skizzieren und erläutern * den Ansatz zur Berechnung der Tunnelwahrscheinlichkeit darstellen * den Unterschied zwischen atomarer- und Gitterauflösung erklären * konfokale Mikroskopie * für gegebene laterale und axiale Auflösung die erforderlichen Pinholes dimensionieren ---++++ Begleitmaterial * elektronisches Skript * gedrucktes Skript ---++++ Besondere Voraussetzungen * keine ---++++ Besondere Literatur * keine ---++++ Besonderer Kompetenznachweis <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Form</th> <tr> <td>bÜA</td> <td>begleitend Übungsaufgaben</td> </tr> </table> </sticky> <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Beitrag zum LV-Ergebnis</th> <tr> <td>bÜA</td> <td>unbenotet</td> </tr> </table> </sticky> *Intervall:* 1/Jahr %ENDSECTION{"Vorlesung / Übung"}% %STARTSECTION{"Praktikum"}% ---+++ <u>Praktikum</u> ---++++ Lernziele ---+++++ Fertigkeiten * praktischer Umgang mit * Elektronenmikroskopen * Tunnelmikroskopen * konfokalen Mikroskopen ---++++ Begleitmaterial * elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung ---++++ Besondere Voraussetzungen * keine ---++++ Besondere Literatur * keine ---++++ Besonderer Kompetenznachweis <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Form</th> <tr> <td>bFG</td> <td>Fachgespräch vor jedem Versuch</td> </tr> <tr> <td>bPA</td> <td>Praktikumsversuche</td> </tr> </table> </sticky> <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Beitrag zum LV-Ergebnis</th> <tr> <td>bFG</td> <td>Voraussetzung für Prüfungszulassung</td> </tr> <tr> <td>bPA</td> <td>Voraussetzung für Prüfungszulassung</td> </tr> </table> </sticky> *Intervall:* 1/Jahr %ENDSECTION{"Praktikum"}% %STARTSECTION{"Projekt"}% ---+++ <u>Projekt</u> ---++++ Lernziele ---+++++ Handlungskompetenz demonstrieren * zu einer vorgegebenen Klasse von Proben eigenständig eine umfassende rastermikroskopische Analyse durchführen * Methodenvergleich ---++++ Begleitmaterial ---++++ Besondere Voraussetzungen * keine ---++++ Besondere Literatur * keine ---++++ Besonderer Kompetenznachweis <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Form</th> <tr> <td>bsB</td> <td>schriftlicher, bebilderter Bericht</td> </tr> </table> </sticky> <sticky> <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0"> <th colspan="2">Beitrag zum LV-Ergebnis</th> <tr> <td>bsB</td> <td>Voraussetzung für Prüfungszulassung</td> </tr> </table> </sticky> *Intervall:* 1/Jahr %ENDSECTION{"Projekt"}% %ENDSECTION{"no_toc"}%
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