Modulhandbuch MaET2012_MikroNanoSystemtechnik

---

Verantwortlich: Prof. Dr. Kohlhof

Modul

Organisation

Bezeichnung Lang MaET2012_MikroNanoSystemtechnik MID MaET2012_MNST MPID

Zuordnung Studiengang MaET2012 Studienrichtung H Wissensgebiete H_SPEZ

Einordnung ins Curriculum Fachsemester 1-2 Pflicht Wahl H

Version erstellt 2012-05-04 VID 1 gültig ab WS 2012/13 gültig bis

Zeugnistext

de

Mikro-Nano-Systemtechnik

en

Micro Nano System Technology

Unterrichtssprache

Deutsch

Modulprüfung

Form der Modulprüfung
sMB	Seminarvortrag

Beiträge ECTS-CP aus Wissensgebieten
H_SPEZ	5
Summe	5

Aufwand [h]: 150

anerkennbare LV

• F07 MNST

---

Prüfungselemente

Vorlesung / Übung

Form Kompetenznachweis
bÜA	Präsenzübung und Selbstlernaufgaben

Beitrag zum Modulergebnis
bÜA	unbenotet

Spezifische Lernziele

Kenntnisse

• Verständnis für Mikro-/Nanosysteme (PFK.5, PFK.6)
• Anwendung von Planungs- und Designsoftware (PFK.1, PFK.3, PFK.7)
• Kenntnis der Fertigungsmethoden für Mikrosysteme (PFK.5, PFK.6)
• Anwendungsspektrum für Mikro-/Nanosystemprodukte (PFK.5, PFK.6)
• werkstoffkundliche Eigenschaften mikro- und nanostruktierter Materie (PFK.5, PFK.6)
• Mikro- und Nanosystemdesign (PFK.5, PFK.6)
• Mikro- und Nanofertigungs-Strategien/-Technologien (PFK.5, PFK.6)
• Analogien zwischen den verschied. Wissensgebieten der Physik (PFK.5, PFK.6)
• Anwendungsbeispiele mikro- bis nanostrukturierter Systeme (PFK.5, PFK.6)

Fertigkeiten

• Integration mikro- und nanostrukturierter Komponenten zu Systemen (PFK.1, PFK.6, PFK.10)
• Simulationstools kennen (PFK.6, PFK.8)
• Reduktion komplexer phys. auf einfache Zsmhänge (PFK.1, PFK.5, PFK.6)
• Mikro- und Nanofertigungstechnologien benennen und auswählen (PFK.2)

Handlungskompetenz demonstrieren

• Übungs-Textaufgaben lösen (PFK.5, PFK.7, PFK.10)
• Simulationtools auswählen und anwenden (PFK.6, PFK.9, PFK.10)

Exemplarische inhaltliche Operationalisierung

Seminar

Form Kompetenznachweis
bLR	Literaturrecherche durchführen
bSZ	gegebene Themenstellung analysieren, strukturieren, bearbeiten
bFG	zu bSZ und sMB

Beitrag zum Modulergebnis
bLR	recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet
bSZ	Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
bFG	mit sMB benotet

Spezifische Lernziele

Exemplarische inhaltliche Operationalisierung