F07_MNS < F07_Studium

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---
*Verantwortlich:* Prof.Dr.Kohlhof

---++ Lehrveranstaltung
---+++ Befriedigt Modul (MID)
   * aktuelle
      * [[BaET2012_MNS]]
      * [[BaET2010_MNS]]

---+++ Organisation
<sticky>
  <table border="0">
    <tr valign="top">
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Version</th>
          <tr>
            <td>erstellt</td>
            <td>2012-01-19</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>VID</td>
            <td>1</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>gültig ab</td>
            <td>WS 2012/13</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>gültig bis</td>
            <td/>
          </tr>
        </table>
      </td>
      <td>         </td>
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Bezeichnung</th>
          <tr>
            <td>Lang</td>
            <td>%FORMFIELD{"Bezeichnung"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>LVID</td>
            <td>F07_MNS</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>LVPID (Prüfungsnummer)</td>
            <td/>
          </tr>
        </table>
      </td>
    </tr>
  </table>
</sticky><sticky>
  <table border="0">
    <tr valign="top">
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Semesterplan (SWS)</th>
          <tr>
            <td>Vorlesung</td>
            <td>%FORMFIELD{"VorlesungSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (ganzer Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungGanzSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (geteilter Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungHalbSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Praktikum</td>
            <td>%FORMFIELD{"PraktikumSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Projekt</td>
            <td>%FORMFIELD{"ProjektSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Seminar</td>
            <td>%FORMFIELD{"SeminarSWS"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Tutorium (freiwillig)</td>
            <td>%FORMFIELD{"TutoriumSWS"}%</td>
          </tr>
        </table>
      </td>
      <td>    </td>
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">Präsenzzeiten</th>
          <tr>
            <td>Vorlesung</td>
            <td>%FORMFIELD{"VorlesungPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (ganzer Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungGanzPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (geteilter Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungHalbPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Praktikum</td>
            <td>%FORMFIELD{"PraktikumPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Projekt</td>
            <td>%FORMFIELD{"ProjektPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Seminar</td>
            <td>%FORMFIELD{"SeminarPZ"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Tutorium (freiwillig)</td>
            <td>%FORMFIELD{"TutoriumPZ"}%</td>
          </tr>
        </table>
      </td>
      <td>    </td>
      <td>
        <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
          <th colspan="2">max. Teilnehmerzahl</th>
          <tr>
            <td>Übung (ganzer Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungGanzTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Übung (geteilter Kurs)</td>
            <td>%FORMFIELD{"UebungHalbTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Praktikum</td>
            <td>%FORMFIELD{"PraktikumTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Projekt</td>
            <td>%FORMFIELD{"ProjektTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
          <tr>
            <td>Seminar</td>
            <td>%FORMFIELD{"SeminarTeilnehmer"}%</td>
          </tr>
        </table>
      </td>
    </tr>
  </table>
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*Gesamtaufwand:* %FORMFIELD{"Gesamtaufwand"}%

---++++ Unterrichtssprache
   * Deutsch
   * Englisch

---++++ Niveau
   * %FORMFIELD{"Niveau"}%
---++++ Notwendige Voraussetzungen
   * keine

---++++ Literatur
   * "Vakuumtechnik 1-5", VDI-Verlag 
   * Tippler: "Physik", Spektrum Akademischer Verlag 

---++++ Dozenten
   * Prof.Dr.Kohlhof



---++++ Wissenschaftliche Mitarbeiter
   * tba

---++++ Zeugnistext
Mikro- und Nanosensorik

---+++ Kompetenznachweis
<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Form</th>
    <tr>
      <td>sMP</td>
      <td>Regelfall (bei großer Prüfungszahl: sK)</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Aufwand [h]</th>
    <tr>
      <td>sMP</td>
      <td>10</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

*Intervall:* 1/Jahr

-----
---++ Lehrveranstaltungselemente

%STARTSECTION{"Vorlesung / Übung"}%
---+++ <u>Vorlesung / Übung</u>

---++++ Lernziele 
---+++++ Lerninhalte (Kenntnisse)
   * Sensorik
      * Werkstoffeigenschaften
      * Wandlung nicht elektrisch- elektrisch
      * Anwendungen
         * Länge, Winkel
         * Geschwindigkeit, Beschleunigung
         * Massendurchfluss
         * Temperatur
         * Kraft, Druck
   * Dünnschichttechnologie
      * Vakuumtechnik
      * Plasmatechnik
      * Schicht- und Oberflächentechnik
         * Schichteintrag
            * Wärmebehandlung
            * Ionenimplantation
         * Schichtauftrag
            * PVD
            * CVD
         * Schichtabtrag
            * Plasmaätzen
            * Ionenätzen
   * Mikrotechnologie
      * Simulationstools (Finite Elemente, Chipdesign, Netzwerksimulation)
      * Fertigungsstrategien (in/ex house)
      * Foundrieprozesse (MUMPs, SUMMIT V, Bosch)
   * Nanotechnologie
      * Fertigungstrategien (bottom up / top down)

---+++++ Fertigkeiten
   * Materialklasse abhängig von gewünschter Sensoreigenschaft auswählen
   * Dünnschichttechnologie situationsgerecht auswählen und anwenden
   * strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
   * strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Sensorsystems

---+++++ Handlungskompetenz demonstrieren
   * (Seminar-)Vortrag recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
   * Simulation eines Sensorsystems


---++++ Begleitmaterial 
   * elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
      * pdf-Skript
   * elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
      * MEMSpro
   * elektronische Tutorials für Selbststudium
      * Videos
         * (in Vorb)


---++++ Besondere Voraussetzungen 
   * Physik
   * Werkstoffkunde


---++++ Besondere Literatur 
   * keine


---++++ Besonderer Kompetenznachweis 
<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Form</th>
    <tr>
      <td>bLR</td>
      <td>Literaturrecherche durchführen</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>bPA</td>
      <td>Vortrag strukturieren</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Vortragspräsentation</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Beitrag zum LV-Ergebnis</th>
    <tr>
      <td>bLR</td>
      <td>Literaturrecherche durchführen</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>bPA</td>
      <td>Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Vortragspräsentation, benotet</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

*Intervall:* 1/Jahr

%ENDSECTION{"Vorlesung / Übung"}%



%STARTSECTION{"Seminar"}%
---+++ <u>Seminar</u>

---++++ Lernziele 
---+++++ Lerninhalte (Kenntnisse)
   * Vortragsstruktur

---+++++ Fertigkeiten
   * 
      * wissenschaftliche Rechercheinstrumente
   * 
      * wissenschaftliches Zitieren

---+++++ Handlungskompetenz demonstrieren
   * Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen 
   * wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren


---++++ Begleitmaterial 


---++++ Besondere Voraussetzungen 
   * keine


---++++ Besondere Literatur 
   * keine


---++++ Besonderer Kompetenznachweis 
<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Form</th>
    <tr>
      <td>bLR</td>
      <td>Literaturrecherche durchführen</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>bPA</td>
      <td>Vortrag strukturieren</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Vortragspräsentation, benotet</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

<sticky>
  <table border="1" cellpadding="2" cellspacing="0">
    <th colspan="2">Beitrag zum LV-Ergebnis</th>
    <tr>
      <td>bLR</td>
      <td>recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>bPA</td>
      <td>Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet</td>
    </tr>
    <tr>
      <td>sMB</td>
      <td>Vortragspräsentation, benotet</td>
    </tr>
  </table>
</sticky>

*Intervall:* 1/Jahr

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Topic-Revision: r7 - 11 Jan 2016, GeneratedContent
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