Lehrver­anstaltung

MNST - Mikro-Nano-Systemtechnik

PDF Lehrveranstaltungsverzeichnis English Version: MNST

Version: 1 | Letzte Änderung: 03.11.2019 19:17 | Entwurf: 0 | Status: vom verantwortlichen Dozent freigegeben

Langname Mikro-Nano-Systemtechnik
Anerkennende LModule MNST_MaET
Verantwortlich
Prof. Dr. Karl Kohlhof
Professor Fakultät IME
Niveau Master
Semester im Jahr Wintersemester
Dauer Semester
Stunden im Selbststudium 78
ECTS 5
Dozenten
Prof. Dr. Karl Kohlhof
Professor Fakultät IME
Voraussetzungen Grundkenntnisse in Materialkunde wünschenswert
Unterrichtssprache deutsch
separate Abschlussprüfung Ja
Literatur
W. Menz, P. Bley: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH Verlagsgesellschaft
S. Büttgenbach: "Mikromechanik", Teubner Verlag
Abschlussprüfung
Details
Mündlicher Seminarvortrag
Mindeststandard
Note 4.0
Prüfungstyp
Mündlicher Seminarvortrag

Lernziele
Kenntnisse
Einleitung
Mikrosystemtechnik am Markt
Fertigungsprinzipien, -strategien
Sensoren und Aktoren
Signalumwandlung
Werkstoffe
Fertigungstechnologien
Reinraum
Lithographie, Mikrostrukturierung
Wärmebehandlung
Dünnschichttechnologie
Aufbau- und Verbindungstechnik
Massenfertigung
Design und Simulation
MEMSpro - Spice basierte Schaltungssimulation
ANSYS - Finite Element Simulation physikalischer Prozesse
Anwendungsbeispiele
Mikropumpe, Mikroventil, Tintenstrahldruckkopf
Mikromotor
Beschleunigungssensoren, Drehratensensor
Mikroklimasensor
Mikrospiegel- Display / Digital Light Processor
MIkrosensoren in Mobiltelefonen
Fertigkeiten
Auswahl bekannter Mikro-/Nanofertigungskonzepte
strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Mikro-/Nanosystems
(Seminar-)Vortrag: recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
Simulation eines Mikro-/Nanosystems
Aufwand Präsenzlehre
Typ Präsenzzeit (h/Wo.)
Vorlesung 2
Übungen (ganzer Kurs) 0
Übungen (geteilter Kurs) 0
Tutorium (freiwillig) 0
Besondere Literatur
keine/none
Besondere Voraussetzungen
Physik, Werkstoffkunde
Begleitmaterial
elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
pdf-Skript
elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
MEMSpro
Separate Prüfung
Prüfungstyp
Fachgespräch (Interview) zu besonderen Fragestellungen (Szenario, Projektaufgabe, Literaturrecherche)
Details
Literaturrechercheergebnis präsentieren
Mindeststandard
Bestehen

Lernziele
Kenntnisse
Vortragsstruktur
Fertigkeiten
wissenschaftliche Rechercheinstrumente
wissenschaftliches Zitieren
Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen
wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren
Aufwand Präsenzlehre
Typ Präsenzzeit (h/Wo.)
Seminar 2
Tutorium (freiwillig) 0
Besondere Literatur
keine/none
Besondere Voraussetzungen
Physik, Materialkunde erwünscht
Begleitmaterial
keine/none
Separate Prüfung
Prüfungstyp
Projektaufgabe im Team bearbeiten (z.B. im Praktikum)
Details
Vortrag strukturieren
Mindeststandard
Note 4.0

Impressum
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