Lehrveranstaltungshandbuch MikroNanoSystemtechnik

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Verantwortlich: Prof.Dr.Kohlhof

Lehrveranstaltung

Befriedigt Modul (MID)

• aktuelle
  • Ma ET2012 MNST

Organisation

Version erstellt 2012-02-03 VID 1 gültig ab WS 2012/13 gültig bis

Bezeichnung Lang MikroNanoSystemtechnik LVID F07_MNST LVPID (Prüfungsnummer)

Semesterplan (SWS) Vorlesung 2 Übung (ganzer Kurs) 1 Übung (geteilter Kurs) Praktikum Projekt Seminar 2 Tutorium (freiwillig)

Präsenzzeiten Vorlesung 30 Übung (ganzer Kurs) 15 Übung (geteilter Kurs) Praktikum Projekt Seminar 30 Tutorium (freiwillig)

max. Teilnehmerzahl Übung (ganzer Kurs) Übung (geteilter Kurs) Praktikum Projekt Seminar 40

Gesamtaufwand: 150

Unterrichtssprache

• Deutsch

Niveau

• Master

Notwendige Voraussetzungen

• keine

Literatur

• W. Menz, P. Bley: "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH Verlagsgesellschaft
• S. Büttgenbach: "Mikromechanik", Teubner Verlag

Dozenten

• Prof.Dr.Kohlhof

Wissenschaftliche Mitarbeiter

• tba

Zeugnistext

Mikro- und Nanosystemtechnik

Kompetenznachweis

Form
sMB	Seminarvortrag

Aufwand [h]
sMB	Seminarvortrag

Intervall: 1/Jahr

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Lehrveranstaltungselemente

Vorlesung / Übung

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)

• Einleitung
  • Mikrosystemtechnik am Markt
  • Fertigungsprinzipien, -strategien
• Sensoren und Aktoren
  • Signalumwandlung
  • Werkstoffe
• Fertigungstechnologien
  • Reinraum
  • Lithographie, Mikrostrukturierung
  • Wärmebehandlung
  • Dünnschichttechnologie
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Massenfertigung
• Design und Simulation
  • MEMSpro - Spice basierte Schaltungssimulation
  • ANSYS - Finite Element Simulation physikalischer Prozesse
• Anwendungsbeispiele
  • Mikropumpe, Mikroventil, Tintenstrahldruckkopf
  • Mikromotor
  • Beschleunigungssensoren: Airbag-, Drehratensensor
  • Mikroklimasensor
  • Mikrospiegel- Display: Digital Light Processor

Fertigkeiten

• Auswahl bekannter Mikro-/Nanofertigungskonzepte
• strategische Einbindung von Mikro- und Nanotechnologien
• strukturiertes Vorgehen zu Design und Simulation eines Mikro-/Nanosystems

Handlungskompetenz demonstrieren

• (Seminar-)Vortrag recherchieren, vorbereiten, strukturieren, vortragen
• Simulation eines Mikro-/Nanosystems

Begleitmaterial

• elektronische Vortragsfolien zur Vorlesung
  • pdf-Skript
• elektronische Entwicklungswerkzeuge für Experimentsimulationen
  • MEMSpro
• elektronische Tutorials für Selbststudium
  • Videos
    • (in Vorb)

Besondere Voraussetzungen

• Physik
• Werkstoffkunde

Besondere Literatur

• keine

Besonderer Kompetenznachweis

Seminar

Lernziele

Lerninhalte (Kenntnisse)

• Vortragsstruktur

Fertigkeiten

• wissenschaftliche Rechercheinstrumente
• wissenschaftliches Zitieren

Handlungskompetenz demonstrieren

• Literaturrecherche zu gestelltem Thema durchführen
• wissenschaftlichen Vortrag strukturieren, erstellen, präsentieren

Begleitmaterial

Besondere Voraussetzungen

• keine

Besondere Literatur

• keine

Besonderer Kompetenznachweis

Form
bLR	Literaturrecherche durchführen
bPA	Vortrag strukturieren
sMB	Vortragspräsentation, benotet

Beitrag zum LV-Ergebnis
bLR	recherchierte Literaturstellenzitate präsentieren, als Teilnote bewertet
bPA	Vortragsstruktur anhand Inhaltsverzeichnis präsentieren, als Teilnote bewertet
sMB	Vortragspräsentation, benotet

Intervall: 1/Jahr